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一种晶圆清洗液水柱位置检测装置，其包含：　　　　一光学信号发射装置，具有光学信号发射源，该光学信号发射装置设于一晶圆承载台的第一侧边，且该光学信号发射源中心正对该晶圆承载台的旋转中心；　　　　一光学信号接收装置，设于一晶圆承载台第一侧边的对...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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