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本实用新型涉及碳化硅板技术领域,尤其是一种碳化硅板涂层喷涂设备,包括桌架、喷涂机,喷涂机包括喷涂头,桌架一侧设有升降板,升降板一侧固定设有若干导向柱,桌架一侧设有若干导向孔,导向柱均滑动连接在导向孔内侧,桌架一侧设有十字连接架,导向柱另一端...该专利属于惠州市中惠宇航半导体新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠州市中惠宇航半导体新材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及碳化硅板技术领域,尤其是一种碳化硅板涂层喷涂设备,包括桌架、喷涂机,喷涂机包括喷涂头,桌架一侧设有升降板,升降板一侧固定设有若干导向柱,桌架一侧设有若干导向孔,导向柱均滑动连接在导向孔内侧,桌架一侧设有十字连接架,导向柱另一端...