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本实用新型公开了一种用于蒸发台的公转机构,包括衬底载体,所述衬底载体顶部设有连接端,所述连接端为镂空结构;第二传动件,所述第二传动件与所述衬底载体连接,所述第二传动件驱动所述衬底载体转动;第一传动件,所述第一传动件设置于所述第二传动件一侧水...该专利属于爱发科真空技术(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱发科真空技术(苏州)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种用于蒸发台的公转机构,包括衬底载体,所述衬底载体顶部设有连接端,所述连接端为镂空结构;第二传动件,所述第二传动件与所述衬底载体连接,所述第二传动件驱动所述衬底载体转动;第一传动件,所述第一传动件设置于所述第二传动件一侧水...