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本申请涉及一种提高芯片内器件性能均匀性的方法、装置及电子设备。提高芯片内器件性能均匀性的方法包括：对预设有多个性能测试监控单元的目标芯片进行曝光生产，多个性能测试监控单元与目标芯片上的多个关键功能模块一一对应；针对每个关键功能模块，通过与关...
该专利属于成都海光微电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都海光微电子技术有限公司授权不得商用。

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