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本发明涉及一种大尺寸氮化镓单晶生长设备及大尺寸体块氮化镓单晶的生长方法，包括生长设备炉体，生长设备炉体包括作为炉膛部分的石英管，所述石英管一端设置有进气法兰，石英管的另一端设置有出气法兰，石英管上设置有至少一段电阻加热恒温区，所述电阻加热恒...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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