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本实用新型公开一种真空传输装置，用于在各真空子系统之间进行样操作，包括与各个真空子系统连通的直线传输管，配置于所述直线传输管的腔室内的传输小车，安装于所述直线传输管的传输接口上的磁力杆，放置样品托的传输基座以及安装于所述真空子系统腔室上的机...
该专利属于埃频（上海）仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃频（上海）仪器科技有限公司授权不得商用。

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