一种真空传输装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种真空传输装置，用于在各真空子系统之间进行样操作，包括与各个真空子系统连通的直线传输管，配置于所述直线传输管的腔室内的传输小车，安装于所述直线传输管的传输接口上的磁力杆，放置样品托的传输基座以及安装于所述真空子系统腔室上的机械手。以及安装于所述真空子系统腔室上的机械手。以及安装于所述真空子系统腔室上的机械手。

【技术实现步骤摘要】
一种真空传输装置


[0001]本技术设计真空设备
，特别涉及一种真空传输装置。

技术介绍

[0002]真空技术已普遍应用于半导体领域，为了保证样品从生长到测试的整个过程都在超高真空下完成，通常会在生长、测试等不同功能的超高真空系统之间搭建真空互联系统，实现样品在任意腔室之间的互联互通。所述真空互联系统一般为线性传输系统，通过一个线性传输腔体实现样品的传输。一种典型的真空互联系统的结构如图1所示，包括直线互联传输管101，所述直线互联传输管101的腔室内配置有传输小车，所述传输小车上安装有样品基座，用于存放样品托，所述直线互联传输管101上配置有传输接口102，用于与各个真空子系统以及快速进样室004连接。如图中所示的磁控溅射系统001、室温STM系统002以及分子束外延系统003等真空子系统的腔室内也配备有样品台基座，用于存放样品托，进行生长或分析测试。所述传输接口上配备有磁力杆，如图2所示，所述磁力杆103的末端配有一个机械抓手104，可以从真空系统腔室内的基座105以及直线互联传输机构腔室内的基座106上抓取样品托，或者将样品托放入真本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空传输装置，包括直线传输管，传输小车以及磁力杆，所述传输小车配置于所述直线传输管的腔室内，包括传输小车基座，所述磁力杆安装于所述直线传输管的传输接口上，包括第一机械抓手，其特征在于，所述直线传输管通过所述传输接口与真空子系统连接，所述真空传输装置还包括：传输基座，包括放置样品托的平台，所述传输基座被配置为能够放置于所述传输小车基座上，且被所述第一机械抓手取下；机械手，安装于真空子系统腔室上，所述机械手末端配有第二机械抓手，所述第二机械抓手被配置为将样品托从所述传输基座上取下，并放置在真空子系统腔室内的样品台基座上。2.如权利要求1所述的真空传输装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾金虎，
申请(专利权)人：埃频上海仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：