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一种用于将单一气流分成两个或更多所需比例的次级气流的系统，包括：入口，适用于接收所述单一气流；至少两个次级流管线，与所述入口相连；输入装置，适用于接收至少一个所需流量比；至少一个原位工艺监视器，用于提供对由所述每条流管线产生的产品的测量；以...
该专利属于MKS仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过MKS仪器公司授权不得商用。

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