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本发明公开了一种晶圆切片机用导向承载台，其结构包括承载台、支撑板、固定杆，固定杆与支撑板为一体化结构，承载台与支撑板活动卡合，通过晶圆的底部对吸附盘产生的压力，能够使吸附盘向下收缩，从而使底贴板能够在吸附盘与其相贴合时对吸附盘进行封口，故而...
该专利属于张东来所有，仅供学习研究参考，未经过张东来授权不得商用。

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