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本发明公开了一种连续式化学气相沉积炉及其工作方法，涉及复合材料制造设备领域。本发明沉积炉内依次设置有准备区、沉积区和冷却区；沉积区包括升降台、至少一个旋转承载台、与旋转承载台相对应的加热器；准备区、沉积区和冷却区外部分别安装有第一密封门、第...
该专利属于上海骐杰碳素材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海骐杰碳素材料有限公司授权不得商用。

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