一种连续式化学气相沉积炉及其工作方法技术

本发明专利技术公开了一种连续式化学气相沉积炉及其工作方法，涉及复合材料制造设备领域。本发明专利技术沉积炉内依次设置有准备区、沉积区和冷却区；沉积区包括升降台、至少一个旋转承载台、与旋转承载台相对应的加热器；准备区、沉积区和冷却区外部分别安装有第一密封门、第二密封门、第三密封门。本发明专利技术能够做到同一个沉积炉同时有三个制备件分别于三个区内进行预热、沉积和冷却，并依次连续性的转换，大大加速了单个沉积炉的复合材料的制备效率，节约了时间；沉积区结构设计使装载碳纤维预制体的承载板能够于加热制备过程中进行旋转，保持内部混合气体和加热温度对其表面作用的均匀性，提高了碳纤维预制体制备成品的品质。碳纤维预制体制备成品的品质。碳纤维预制体制备成品的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种连续式化学气相沉积炉及其工作方法


[0001]本专利技术属于复合材料制造设备领域，特别是涉及一种连续式化学气相沉积炉以及一种连续式化学气相沉积炉的工作方法。

技术介绍

[0002]复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对复合材料产品的质量有了更高的要求。
[0003]化学气相沉积是一种被广泛应用于生产复合材料的工艺方法。现有的化学气相沉积炉或沉积系统，大多是从沉积炉的底部通过多路进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部，并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。由于现有的沉积炉的这种进气结构，碳源气体从进气管路直接进入沉积室底部的料盘，并以1～3m/s的速度快速进入沉积炉中部的高温区，造成沉积炉最底端的产品温度过低，达不到沉积温度，而且碳源气体迅速通过底部的产品，还未来得及在底部产品上沉积就跑到了中部产品，从而导致沉积炉内底端产品的沉积效果不佳，使得沉积炉内本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述沉积炉内依次设置有准备区(2)、沉积区(1)和冷却区(3)；所述沉积区(1)包括升降台(101)、至少一个旋转承载台(102)、与旋转承载台(102)相对应的加热器(108)或感应线圈；所述准备区(2)、沉积区(1)和冷却区(3)外部分别安装有第一密封门(206)、第二密封门(113)、第三密封门(304)。2.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述加热器(108)采用圆形整体加热器、圆形拼接加热器、方形整体加热器或方形拼接加热器中任意一种。3.根据权利要求2所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述加热器(108)材质采用石墨、碳碳或钨钼等其它耐高温材料。4.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述旋转承载台(102)采用轴流式或非轴流式。5.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述沉积区(1)还包括炉体(1)以及对升降台(101)和设置于升降台(101)上的旋转承载台(102)进行升降动作的升降机构(107)；所述升降台(101)的周侧壁上安装有与炉体(1)内侧壁挤压密封的密封圈(106)。6.根据权利要求1所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述准备区(2)内底部设置有用于放置准备状态预制体的第一放置台(201)，顶部设置有与第一放置台(201)位置相对的第一氮气吹入管(202)，侧部设置有第一氮气排气管(204)。7.根据权利要求6所述的一种连续式化学气相沉积炉，其特征在于，所述准备区(2)内侧壁设置有第二保温层(205)，位于第一放置台(201)的周侧设置有用于对准备状态预制体进行感应预加热的感应线圈(203)。8.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：申富强，王景珍，
申请(专利权)人：上海骐杰碳素材料有限公司，
类型：发明
国别省市：