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在一些实施例中，本发明涉及一种竖直腔面发射激光(VCSEL)装置，其包含布置在反射层堆叠上方的微透镜。反射层堆叠包括第一材料和第二材料的交替反射层。微透镜堆叠包含第一透镜层、布置在第一透镜层上方的第二透镜层以及布置在第二透镜层上方的第三透镜...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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