温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种片状晶圆加工用载具，其结构包括固定底座、装载装置、支撑架，固定底座上表面与装载装置底部相焊接，支撑架下端与固定底座上表面相固定，通过缩软管进行伸缩缓冲，提高限位环与旋转盘之间的牢固性，转动球能够在限位环内部进行平稳的滑动，旋...
该专利属于林斌发所有，仅供学习研究参考，未经过林斌发授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。