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本发明提供一种光学设备及其工作方法，其中，所述光学设备包括：供气装置，用于提供清洁气体；分流单元，用于将所述清洁气体分为第一清洁气体和第二清洁气体；第一过滤装置，用于对所述第一清洁气体进行第一过滤处理，所述第一过滤装置包括酸碱过滤器，所述酸...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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