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安装在净化室（５４）中的自动半导体处理系统有一个垂直相对于处理舱（９４）的度盘舱（７５）。在度盘舱中的度盘（７２）为处理过程中的半导体晶片提供堆放或存储功能。处理室（６８、７０）位于处理舱中。处理机械手（６６）在度盘舱和处理舱间运动，以从处...
该专利属于塞米特公司所有，仅供学习研究参考，未经过塞米特公司授权不得商用。

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