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本实用新型涉及在对基板进行处理的工艺空间生成电感耦合等离子体的电感耦合等离子体处理装置及其天线组件。本实用新型的电感耦合等离子体处理装置用的天线组件包括：输入天线部，与外部的电源电连接；输出天线部，用于向外部输出向输入天线部供电的电源所提供...
该专利属于INVENIA有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过INVENIA有限公司授权不得商用。

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