下载光谱仪装置以及用于制造光谱仪装置的方法的技术资料

文档序号:27755526

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本发明涉及一种光谱仪装置(10),该光谱仪装置包括:法布里珀罗‑干涉仪单元(FP),该法布里珀罗‑干涉仪单元包括第一载体基底(TS1),其中所述第一载体基底(TS1)布置在法布里珀罗‑干涉仪单元(FP)的下侧(U)上并且具有光学孔径(NA)...
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