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本发明提出的一种液氦温区微型节流制冷机，由依次叠设的七层基片焊接成一体结构；第一基片作为盖板，第二基片和第三基片构成一级制冷循环器，第四基片和第五基片构成二级制冷循环器，第六基片和第七基片构成三级制冷循环器；第三基片、第五基片和第七基片上均...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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