下载一种空气敏感性二维材料器件的封装设备及封装方法的技术资料

文档序号:27720946

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本发明公开了一种空气敏感性二维材料器件的封装设备及封装方法,属于二维材料封测领域。利用此设备的封装方法是采用在惰性气体环境下,将二维材料器件封装于采用底座、封盖玻片及高于二维材料器件厚度的封装胶形成的密闭空间中,以此方法封装空气敏感性二维材...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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