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本实用新型公开了提供一种LDMOS器件,包含:P型衬底,P型衬底为源极;位于P型衬底上的外延层;位于外延层上的栅极,栅极的上边缘和侧边缘处围绕有场板;位于栅极上的漏极,栅极与漏极之间设置有层间隔离介质;以及填充有导电介质的漏极沟槽和源极沟槽...该专利属于和舰芯片制造(苏州)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过和舰芯片制造(苏州)股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了提供一种LDMOS器件,包含:P型衬底,P型衬底为源极;位于P型衬底上的外延层;位于外延层上的栅极,栅极的上边缘和侧边缘处围绕有场板;位于栅极上的漏极,栅极与漏极之间设置有层间隔离介质;以及填充有导电介质的漏极沟槽和源极沟槽...