下载基板载具及电沉积设备的技术资料

文档序号:27701334

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本实用新型提供一种基板载具及电沉积设备,所述基板载具用于承载待镀膜基板,所述待镀膜基板包括相背设置的第一面和第二面,所述第一面上设有导电膜层;所述基板载具包括一载具本体,所述载具本体包括用于承载及固定所述待镀膜基板的至少一个承载面,所述载具...
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