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本实用新型提供一种基板载具及电沉积设备,所述基板载具用于承载待镀膜基板,所述待镀膜基板包括相背设置的第一面和第二面,所述第一面上设有导电膜层;所述基板载具包括一载具本体,所述载具本体包括用于承载及固定所述待镀膜基板的至少一个承载面,所述载具...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种基板载具及电沉积设备,所述基板载具用于承载待镀膜基板,所述待镀膜基板包括相背设置的第一面和第二面,所述第一面上设有导电膜层;所述基板载具包括一载具本体,所述载具本体包括用于承载及固定所述待镀膜基板的至少一个承载面,所述载具...