下载基板载具和电镀设备的技术资料

文档序号:27701313

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本实用新型提供一种基板载具,包括:承载结构和盖板结构,所述承载结构用于承载待电镀的基板,所述盖板结构设置在所述承载结构的一侧,用于压覆所述基板的边缘,其中,所述盖板结构包括:具有电镀开口的边框;盖板电极,所述盖板电极设置在所述边框靠近所述承...
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