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本公开提供一种基板上下料装置及电沉积设备，该基板上下料装置用于在基板载具上装卸待处理基板，待处理基板包括待工艺处理面及背面，待处理基板承载于基板载具时，背面面向基板载具的承载面固定；基板上下料装置包括：基板承载部，包括面向基板载具的承载面设...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

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