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本申请实施例提供了一种半导体工艺设备及其承载装置。该承载装置设置于半导体工艺设备的工艺腔室内，用于承载待加工件，其包括：卡盘、冷却盘及冷却组件；卡盘设置于冷却盘上，用于承载并固定待加工件；冷却盘内设置有冷却流道，用于通入冷却介质以通过卡盘对...
该专利属于北京中硅泰克精密技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中硅泰克精密技术有限公司授权不得商用。

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