下载一种边界条件可调的腔室及长晶炉的技术资料

文档序号:27677233

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本发明公开了一种边界条件可调的腔室,包括石英管、坩埚、围绕石英管外围设置的电磁感应线圈、围绕石英管及电磁感应线圈外围设置的水冷罩;所述水冷罩的内层壳体、外层壳体均以隔离电磁辐射的材料制成。本发明提供的腔室采用若干组水冷环对石英管进行边界条件...
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