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本发明公开了一种具有双层屏蔽罩的阴极弧头，涉及离子束产生装置领域。该方案包括固定法兰盘、阴极靶材、触发电极、屏蔽系统、辅助阳极板，屏蔽系统包括第一屏蔽罩以及第二屏蔽罩，第一屏蔽罩与第二屏蔽罩均与阴极靶材同轴设置，且第一屏蔽罩与所述第二屏蔽罩...
该专利属于廖斌;广东省广新离子束科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过廖斌;广东省广新离子束科技有限公司授权不得商用。

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