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一种动态随机存取存储器的制备方法,其包括:提供一导电层以及形成在导电层中的多个间隔设置的接触插塞,导电层包括接触面,每一个接触插塞部分凸伸出接触面外,每个接触插塞包括凸设在接触面上的顶面和侧面;在导电层和接触插塞上形成阻挡层;在阻挡层远离所...该专利属于夏泰鑫半导体(青岛)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过夏泰鑫半导体(青岛)有限公司授权不得商用。
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一种动态随机存取存储器的制备方法,其包括:提供一导电层以及形成在导电层中的多个间隔设置的接触插塞,导电层包括接触面,每一个接触插塞部分凸伸出接触面外,每个接触插塞包括凸设在接触面上的顶面和侧面;在导电层和接触插塞上形成阻挡层;在阻挡层远离所...