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高温全息光栅，是将可动光源制作全息光栅技术与真空镀膜技术结合研制出来的，是一种具有高灵敏度的位移测量基本元件。它是采用双镀层光刻法制作，由两抗氧化能力强的金属镀层构成。两镀层的金属材料相同时如Ｃｒ－Ｃｒ，则构成位相型高温全息光栅；若两镀层金...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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