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三维光子晶体制备方法及其装置制造方法及图纸
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文档序号:2762479
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涉及一种用全息方法制备三维光子晶体的方法及装置。将激光经扩束空间滤波,再变成扩束的平行光照射到光栅版上,在光栅版后产生4束光干涉,在干涉区域放置记录干版,再经曝光显影。设有激光器、扩束与空间滤波器、准直透镜、光栅版和全息记录干版,光栅版对扩...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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