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本发明涉及传感器薄膜制造技术领域，且公开了种传感器薄膜制造用增加气相沉积辅热组件，包括反应仓，所述反应仓的中部活动连接有转轴，转轴的顶部活动连接有催化机构，催化机构的外侧固定连接有导热板。该传感器薄膜制造用增加气相沉积辅热组件，通过产生的感...
该专利属于广州创盈机械设计有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州创盈机械设计有限公司授权不得商用。

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