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本实用新型涉及一种边抛后对于硅片表面及边缘状态的检查工作台，所属硅片加工工艺技术领域，包括清洗箱体，清洗箱体内设有清洗液，清洗液上方设有与清洗箱体相轴承式嵌套连接的旋转轴，旋转轴上设有若干呈等间距环形分布的吊篮框，吊篮框与旋转轴间设有与吊篮...
该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。

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