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本发明公开了一种半导体晶圆夹持设备，属于半导体技术领域，包括晶圆夹持支架以及转动设置在所述晶圆夹持支架中心的喷气管，所述晶圆夹持支架包传动连接轴、固设在传动连接轴下端的支架本体、与所述支架本体连接用于夹持所述晶圆的夹持手指组件，所述传动连接...
该专利属于四川美术学院所有，仅供学习研究参考，未经过四川美术学院授权不得商用。

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