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本申请涉及一种不良涂层类型缺陷的检测方法、装置、设备和存储介质。其中，不良涂层类型缺陷的检测方法通过将晶圆图像与标准样的图像进行图像相减，得到差异图像；对差异图像进行边缘检测，得到边缘图像；进而采用改进的霍夫直线转换对边缘图像进行放射状直线...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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