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本发明的掩模对准方法调整掩模载置台与掩模的相对位置，其特征在于，包括：对所述掩模载置台上的所述掩模的相对的位置偏离量进行计测的计测工序；在使所述掩模从所述掩模载置台分离的状态下，在与所述掩模载置台的载置面平行的面内，使所述掩模相对于所述掩模...
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