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本发明提供一种兼顾检测灵敏度和输出的线性度的压力传感器。是使用半导体基板而形成的压力感测元件(1)，具备框架(12)、支撑于框架(12)的膜片(11)、以及配置于膜片(11)的压电电阻(13)，膜片(11)具备槽部(111)和多个梁部(11...
该专利属于三美电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三美电机株式会社授权不得商用。

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