下载一种基于硅片酸洗的自动供酸装置的技术资料

文档序号:27572406

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本实用新型公开了一种基于硅片酸洗的自动供酸装置,包括底板以及万向轮组件,所述万向轮组件安装于底板下壁面上,所述底板上安装有支撑组成结构以及酸液加注结构;本实用新型涉及自动供酸装置技术领域,本装置在结构方面进行研究改进,通过添加大酸箱进行酸液...
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