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本发明实施例公开了一种光刻机的故障分析方法、装置、设备和存储介质，其中，方法包括：将实时获取的故障日志数据与知识库中预先建立的故障模板进行匹配；获取与所述故障模板不匹配的故障日志数据，并将所述故障日志数据作为新故障模板添加到所述知识库中；获...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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