一种光刻机的故障分析方法、装置、设备和存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例公开了一种光刻机的故障分析方法、装置、设备和存储介质，其中，方法包括：将实时获取的故障日志数据与知识库中预先建立的故障模板进行匹配；获取与所述故障模板不匹配的故障日志数据，并将所述故障日志数据作为新故障模板添加到所述知识库中；获取与所述故障模板相匹配的故障日志数据，并根据所述故障日志数据更新预先建立的故障关键词矩阵中的数值，使得根据所述更新后的故障关键词矩阵进行日志信息统计。本发明专利技术实施例通过故障模板匹配可实现对实时获取的故障日志快速分类，并通过更新故障关键词矩阵，以便根据故障关键词矩阵进行故障分析，提升了故障分析效率。提升了故障分析效率。提升了故障分析效率。

【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的故障分析方法、装置、设备和存储介质


[0001]本专利技术实施例涉及光刻机领域，尤其涉及一种光刻机的故障分析方法、装置、设备和存储介质。

技术介绍

[0002]随着“云计算”概念的引入，计算机系统变得越来越复杂，运作在其上的软件也越来越丰富，交互更加频繁，耦合性高，使得系统故障的原因与种类也难以进行分析。由于现代社会对于计算机的依赖程度逐渐加深，特别是某些特殊的使用，比如半导体，IC制造业，一旦出现故障，将会给公司带来很大的损失。为了满足光刻机系统的稳定性要求，需要对系统进行实时的监控，通过对日志分析及时发现系统的存在的问题。
[0003]目前只能依靠维护人员从大量的复杂的信息中抽取出和故障相关的信息，并基于维护人员的知识和经验进行故障分析。然而由于日志信息众多，仅通过人工进行处理，使得故障分析处理的效率低。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种光刻机的故障分析方法、装置、设备和存储介质，以解决现有技术中故障分析处理的效率低的技术问题。
[0005]第一方面，本专利技术实施例提供了一种光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光刻机的故障分析方法，其特征在于，包括：将实时获取的故障日志数据与知识库中预先建立的故障模板进行匹配；获取与所述故障模板不匹配的故障日志数据，并将所述故障日志数据作为新故障模板添加到所述知识库中；获取与所述故障模板相匹配的故障日志数据，并根据所述故障日志数据更新预先建立的故障关键词矩阵中的数值，使得根据所述更新后的故障关键词矩阵进行日志信息统计。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，预先建立故障模板的操作，包括：获取清洗后的历史故障日志数据；针对任一历史故障日志数据，提取所述历史故障日志数据中的不变量，作为该历史故障日志数据的故障模板；其中，所述不变量是指组成历史故障日志数据的语句中的静态信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述提取所述历史故障日志数据中的不变量的操作包括：针对任一历史故障日志数据，去除所述历史故障日志数据中变量，其中所述变量是指日志结构中动态变化的单词；基于词频统计的方式，确定每个单词对所述历史故障日志数据的重要程度；去除所述重要程度小于预设阈值的单词。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，预先建立故障关键词矩阵的操作，包括：对所述故障模板进行分类，得到至少一种故障类型的故障模板集合；基于所述至少一种故障类型的故障模板集合，计算所述故障模板中的不同单词在各故障类型中的概率分布，形成故障关键词矩阵。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：确定所述新故障模板中所包括的新单词，计算所述新单词在不同故障类型中的概率分布，以修改所述故障关键词矩阵。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：判断所述新故障模板是否为新故障类型，否是，则基于所述新故障类型，计算所有故障模板中的单词在新故障类型下的概率分布，以修改所述故障关键词矩阵。7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，对所述故障模板进行分类，包括：针对任意两个故障模板，根据改进的编辑距离公式，计算两个故障模板的距离；判断所述距离是否小于预设距离阈值，若是，则表明这两个故障模板所属的故障类型相同；其中，所述改进的编辑距离公式为：LLD(A,B)表示故障模板A和B的距离，LD(A,B)表示故障模板A和B的原始编辑距离，Length()表示故障模板的长度。8.一种光刻机的故障分析装置，其特征在于，所述装置包括：匹配模块，用于将实时获取的故障日志数据与知识库中预先建立的故障模板进行匹
配；模板添加模块，获取与所述故障模板不匹配的故障日志数据，并将所述故障日志数据作为新故障模板添加到所述知识库中；矩阵更新模块，用于获取与所述故障模...

【专利技术属性】
技术研发人员：王立伟，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：