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本发明公开了一种半导体材料的清洗装置，包括：清洗箱，清洗箱能够对半导体材料在高度方向上分层次清洗；清洗箱的底部设有振动板；振动板弹性设于清洗箱的底部；储液箱，用于存储清洗液，并通过泵体将清洗液泵入清洗箱内，实现圆周阵列分层次对半导体材料进行...
该专利属于江西舜源电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西舜源电子科技有限公司授权不得商用。

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