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本发明提供了一种单面抛光装置及方法，属于半导体技术领域。单面抛光装置，包括：固定部，用于对待抛光的晶圆进行固定；位于所述固定部上方的抛光头，用于对所述晶圆进行抛光；分布在所述晶圆周缘的多个控制销，用于固定所述晶圆的边缘，所述多个控制销中的至...
该专利属于西安奕斯伟材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料技术有限公司授权不得商用。

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