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本实用新型适用于零部件对位确认装置领域，提供了一种用于掩膜版的对位确认装置，它包括定位工具和测量工具，所述定位工具和测量工具活动连接。该装置可精确测量掩膜版在工作平台上的位置是否符合设计要求，大大降低由于掩膜版位置偏移产生的废品数量，可广泛...
该专利属于清溢精密光电(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过清溢精密光电(深圳)有限公司授权不得商用。

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