下载不刻透金属掩模板及其应用的技术资料

文档序号:2752232

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

不刻透金属掩模板由石英基板加上表面或下表面或上下表面图形相同的不刻透铬或金或铜或银或铝单层金属薄层图形构成,借助光照射具有微细图形结构不刻透金属掩模板产生波长很短的等离子波,等离子波能穿过不刻透单层金属掩模图形的下凹孔和缝槽传播到另一面射出...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。