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公开了一种用于光刻的混合光源。根据本发明的实施例，光源包括：头部，耦合到头部的第一组极，该第一组极设置在邻近于头部的外部边缘处，以及耦合到头部的第二组极，其位于所述外部边缘和头部中心之间。根据本发明进一步的实施例，可调整该极以改变光源的特性...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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