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一种使薄膜形成图案的方法，包括：在基底上沉积中间辐射敏感层；在该中间层上沉积该薄膜－－在沉积该薄膜之前或之后：使该中间层曝光于图案化的辐射以引发其中的化学反应；以及除去该中间层和相应薄膜的图案化辐射所限定的部分，以在基底上留下图案化的薄膜和...
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