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基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料制造技术
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下载基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料的技术资料
文档序号:2751857
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基于非对称金属光栅结构的双频可调磁共振人工复合材料,其特征在于:选择石英基片并将表面抛光,在其表面蒸镀SiO↓[2]膜;在SiO↓[2]膜表面蒸镀铬膜,在铬膜上涂覆光刻胶层;采用电子束光刻方法,在光刻胶上制备介质光栅结构;采用湿法腐蚀技术,...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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