下载激光直描装置的技术资料

文档序号:2751812

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本发明提供一种能够将各种灵敏度的感光材料进行曝光并且能够根据工件的变形来修正描画位置的激光直描装置。该激光直描装置使基于光栅数据调制的激光束(5a)通过圆柱形透镜(9)向副扫描方向聚光的同时偏向主扫描方向,并且使被描画体(10)向副扫描方向...
该专利属于日立比亚机械股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日立比亚机械股份有限公司授权不得商用。

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