下载含苯并噁嗪结构的共聚物成膜树脂及其深紫外负性化学增幅型光刻胶的技术资料

文档序号:2751336

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一种含苯并噁嗪结构的共聚物成膜树脂,由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下,通过在溶剂中进行聚合反应,以及相应的后处理制备而成,共聚单体为:含羟基苯乙烯单体(40~90份重量)、含苯并噁嗪结构的单体(5~40份重量)、丙烯酸酯类单体或/和苯乙...
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