专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
清华大学
>
有机碱催化的无显影气相光刻胶制造技术
>技术资料下载
下载有机碱催化的无显影气相光刻胶的技术资料
文档序号:2750677
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种无显影气相光刻胶,属于光刻技术领域。本发明光刻胶由成膜物质,光敏剂、具有光敏性的刻蚀促进剂和溶剂组成,所说的成膜物质为可紫外光固化的光敏树脂如肉桂酸酯类树脂、丙烯酸类树脂。所说的光敏剂可用5-硝基苊,安息香二甲醚、二苯酮等;光敏性刻蚀促...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。