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本发明描述了一种用于测量第一个物体（ＷＨ）和第二个物体（ＭＨ）相互位置和运动的差分干涉仪系统，该系统包括带有第一测量反射器（ＲＷ）的第一个干涉仪部件（１，２，３，４），和带有第二测量反射器（ＲＭ）的第二个干涉仪部件（５，６，７，８）。由于测...
该专利属于ASM石版印刷公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASM石版印刷公司授权不得商用。

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