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本发明涉及一种新颖的防反射涂料组合物，其中该组合物包括共聚物、热酸产生剂和溶剂组合物。本发明进一步包括将该组合物用于光刻的方法。该组合物强有力地吸收约１３０ｎｍ至约２５０ｎｍ的辐射。...
该专利属于AZ电子材料日本株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料日本株式会社授权不得商用。

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